4月7日,據外媒報道,韓國半導體制造商SK Hynix旗下工廠發(fā)生化學品泄漏事故,造成3名工人受傷,但半導體產品生產不會受到影響。
據韓媒報道,SK Hynix位于韓國利川的M16工廠發(fā)生了一起化學品泄漏事故,事故發(fā)生在這家工廠的五樓,泄漏的是氫氟酸。
韓國媒體報道稱,泄漏發(fā)生時,工人正在5樓檢查設備,3名工人在泄漏中受傷。SK海力士透露,泄漏事故發(fā)生在設備檢查期間,不會影響生產。
氫氟酸是氟化氫氣體的水溶液,清澈無色,腐蝕性強,有刺激性,能強烈腐蝕金屬、玻璃和含硅物體。在半導體工業(yè)中,氫氟酸用于去除硅表面的氧化物。
氫氟酸泄漏的M16工廠,是SK海力士剛剛建成的新工廠。根據SK海力士官網信息,M16工廠于2018年11月開工,投資3.5萬億韓元,歷時兩年建成。竣工儀式于今年2月1日舉行。當時,SK集團總裁崔泰源、副總裁崔在元、SK海力士CEO李希希等SK集團、SK海力士多位高管出席了落成儀式。
根據SK海力士官網信息,M16工廠建成后將主要用于生產DRAM產品。作為SK海力士面向未來的重要工廠,M16工廠也引進了一臺紫外線光刻機,這是SK海力士首次引進這類設備。